美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，brooks氣體質(zhì)量流量控制器通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計(jì)成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容。

更新時間：2026-01-19

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一、brooks氣體質(zhì)量流量控制器概覽

Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界*的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時間、精度、可重復(fù)性、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護(hù)（IP）認(rèn)證，適用于多種危險(xiǎn)場所。

二、brooks氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

較低的泄漏率
結(jié)構(gòu)緊湊
內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
常閉閥
對安裝位置不敏感

三、brooks氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)

數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
流量范圍:0.03-30slpm
量程比：50:1
大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
精度:±1%FS
重復(fù)性：0.25% of rate
響應(yīng)時間：1-3s
差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）
操作溫度范圍：5~65℃
輸出信號：0-5VDC或4-20mA
電源：+/-15V

?四、brooks氣體質(zhì)量流量控制器其他系列產(chǎn)品

SLA5800S---數(shù)字型氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器
SLA5800 enhanced series
4800 series
5800S series
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